硕士研究生答辩

 

答辩时间:2020525日(星期一)9:00

答辩地点:线上答辩

答辩委员会:  周建伟(教授张保国(教授王胜利(教授赵金石(教授,天津理工大学)

                       王如(高级实验师)  何彦刚(副研究员)

答辩顺序:

序号

答辩人

专业

论文题目

1

张佳洁

电子科学与技术

GLSI铜互连阻挡层CMP中铜钌电偶腐蚀控制机理的研究

2

王子艳

电子科学与技术

基于H2O2体系铜互连钌阻挡层CMP材料与机理的研究

3

刘凤霞

(暂定)

电子科学与技术

集成电路钴插塞弱碱性粗抛液及平坦化控制机理的研究

4

刘旭阳

集成电路工程

                      TSV晶圆的CMP抛光液研究

5

梁婷伟

集成电路工程

集成电路钴插塞阻挡层CMP去除速率选择性的研究

 

                                                                                                

                                                                                               电子信息工程新規 オンライン カジノ

                                                                                                2020515