硕士研究生答辩

时间：2020-05-21 来源： 作者： 访问量：

 

答辩时间：2020年5月25日（星期一）9:00

答辩地点：线上答辩

答辩委员会：  周建伟(教授)  张保国(教授)  王胜利(教授)  赵金石（教授，天津理工大学）

                       王如(高级实验师)  何彦刚(副研究员)

答辩顺序：

序号

答辩人

专业

论文题目

1

张佳洁

电子科学与技术

GLSI铜互连阻挡层CMP中铜钌电偶腐蚀控制机理的研究

2

王子艳

电子科学与技术

基于H2O2体系铜互连钌阻挡层CMP材料与机理的研究

3

刘凤霞

（暂定）

电子科学与技术

集成电路钴插塞弱碱性粗抛液及平坦化控制机理的研究

4

刘旭阳

集成电路工程

                      TSV晶圆的CMP抛光液研究

5

梁婷伟

集成电路工程

集成电路钴插塞阻挡层CMP去除速率选择性的研究

 

                                                                                                

                                                                                               电子信息工程新規 オンライン カジノ

                                                                                                2020年5月15日