高宝红
时间:2021-04-13 来源: 作者: 访问量:
高宝红
性别:女
职称:副1xbet アプリ员
职务或社会兼职:
邮箱:
所在部门:微电子所
主讲课程:
导师类型:硕士生导师
1xbet アプリ方向
化学机械超精密加工技术
纳米抛光后清洗技术及材料
教育背景及工作经历
2000年~2004年 烟台师范学院 物理专业,本科
2004年~2007年 天津理工大学 光学工程专业,硕士
2007年~2010年 河北工业大学 微电子学与固体电子学专业,博士
2010年~今 任职于河北工业大学电子信息工程学院
学术论文
1. 铜CMP后清洗工艺中活性剂去除颗粒污染的1xbet アプリ进展 [J].半导体技术,2020
2. A study of FTIR and XPS analysis of alkaline‐based cleaning agent for removing Cu‐BTA residue on Cu wafer,Surf Interface Anal. 2019;51:566–575
3. Effects of Novel Inhibitor on Galvanic Corrosion of Copper and Cobalt and Particle Removal,ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8 (10) P545-P552 (2019)
科研项目
1. 国家自然科学基金,项目名称:化学机械平坦化后清洗对超低k介质材料影响的理论1xbet アプリ(编号:61704046 )
2. 国家重大专项,新型电—化学微电子清洗技术与清洗剂的1xbet アプリ(2009ZX02308-003)
3. 国家自然科学基金,项目名称:CMOS后形成栅极铝平坦化与电化学腐蚀抑制机理1xbet アプリ(编号: 61504037)
获奖情况
1. 极大规模集成电路平坦化工艺与材料,天津市技术发明奖三等奖