高宝红

高宝红


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性别:

职称:副1xbet アプリ员

职务或社会兼职:

邮箱:

所在部门:微电子所

主讲课程:

导师类型:硕士生导师

 

1xbet アプリ方向


化学机械超精密加工技术

纳米抛光后清洗技术及材料

 

教育背景及工作经历


2000年~2004年 烟台师范学院 物理专业,本科

2004年~2007年 天津理工大学 光学工程专业,硕士

2007年~2010年 河北工业大学 微电子学与固体电子学专业,博士

2010年~今   任职于河北工业大学电子信息工程学院

 

学术论文


1. 铜CMP后清洗工艺中活性剂去除颗粒污染的1xbet アプリ进展 [J].半导体技术,2020

2. A study of FTIR and XPS analysis of alkaline‐based cleaning agent for removing Cu‐BTA residue on Cu wafer,Surf Interface Anal. 2019;51:566–575

3. Effects of Novel Inhibitor on Galvanic Corrosion of Copper and Cobalt and Particle Removal,ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8 (10) P545-P552 (2019)

 

科研项目


1. 国家自然科学基金,项目名称:化学机械平坦化后清洗对超低k介质材料影响的理论1xbet アプリ(编号:61704046 

2. 国家重大专项,新型电—化学微电子清洗技术与清洗剂的1xbet アプリ(2009ZX02308-003

3. 国家自然科学基金,项目名称:CMOS后形成栅极铝平坦化与电化学腐蚀抑制机理1xbet アプリ(编号:  61504037

 

获奖情况


1. 极大规模集成电路平坦化工艺与材料,天津市技术发明奖三等奖